微机械陀螺仪论文

微机械加速度计的分析和测试

一、微机械加速度计的分析与测试（论文文献综述）姚俊杰[1]（2021）在《微光机电加速度计关键技术研究》文中指出加速度计作为重要的惯性元件之一,广泛应用于工业生产、科学研究、现...